产品详细介绍
TCS208F
采用先进的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。
测量精度高
灵敏度高
集成温度补偿，漂移小
体积小，响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8 封装，抗冲击能力强
灵敏度高
集成温度补偿，漂移小
体积小，响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8 封装，抗冲击能力强
详细介绍：
1.
最大限值
|
最小
|
典型
|
最大
|
单位
|
|
|
热功率
P
（
Rm1+Rm2
）：
|
—
|
—
|
30
|
mW
|
|
测量温度
Tm
|
—
|
—
|
180
|
°
C
|
|
环境温度
|
-20
|
—
|
+85
|
°
C
|
|
气体压力（
1
）
|
—
|
—
|
200
|
bar
|
注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。
2.
参数说明：
|
最小
|
典型
|
最大
|
单位
|
|
|
电阻，
Rm1
，
Rm2
（
Tm=25
°
C
）
|
92
|
100
|
115
|
Ω
|
|
电阻，
Rt1
，
Rt2
|
220
|
240
|
275
|
Ω
|
|
商，
Rtx / ( Rm1+Rm2 )
，
x
∈
{1,2}
|
1.13
|
1.2
|
1.27
|
1
|
|
阻抗差，
Rm1 - Rm2
|
-2.0
|
—
|
+2.0
|
Ω
|
|
α
=
温度系数，
( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
|
4.8
（
2
）
|
5.5
|
5.9
|
10-3·K-1
|
|
G =
几何系数（
3
）
|
—
|
3.6
|
—
|
mm
|
|
τ
m =
膜的热时间常数
|
—
|
<5
|
—
|
ms
|
|
τ
diffusion
=
气体交换的时间常数
|
—
|
<100
|
—
|
ms
|
|
漂移
( Rxy ) | x
∈
{m,t} ; y
∈
{1,2}
|
—
|
0.001
|
0.01
|
%/week
|
|
散射结构的体积
|
—
|
0.2
|
—
|
mm3
|
|
保持干净的周围环境空间大小
|
—
|
100
|
—
|
mm3
|
|
基础材料
|
硅
,
采用蚀刻技术获得微观结构
|
|||
|
尺寸结构
:
包括底座
不包括底座
|
3mm × 3mm × 1mm
|
|||
|
13mm Ø × 15.4mm
|
||||
|
暴露在空气中的材料
|
Si, SiOxNy,
金
,
环氧材料
|
|||
注释
: (1)
根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数
(2)
α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况
.
产品会不断的改良使它更接近于
DIN 43760
的规格
.
(3)
因数
G
是由内部的传感器的机构决定的
.
传感器的机械测试
:
振动
:
符合
IEC 68-2-6
附录
B (1982) 10
圈
,
±
1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1
阶
/
分钟
冲击
:
符合
IEC 68-2-27
修正
#1 (82
年
10
月
),
径向和轴向各
10
次
, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.