TCS208F气体热导分析仪
产品详细介绍 TCS208F采用先进的MEMS加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等气体成份检测,也可用于测量非常小的气体容积变化。 测量精度高 灵敏度高 集成温度补偿,漂移小 体积小,响应速度快 可以测量微小的气体容量 高性价比 TO8封装,抗冲击能力强 详细介绍: 1. 最大限值 最小 典型 最大 单位 热功率P(Rm1+Rm2): — — 30 mW 测量温度Tm — — 180 °C 环境温度 -20 — +85 °C 气体压力(1) — — 200 bar 注:由于膜的热时间常数短,短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。 2. 参数说明: 最小 典型 最大 单位 电阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C) 92 100 115 Ω 电阻,Rt1,Rt2 220 240 275 Ω 商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2} 1.13 1.2 1.27 1 阻抗差,Rm1 - Rm2 -2.0 — +2.0 Ω α=温度系数,( Rm, Rt ) | 20 - 100°C 4.8(2) 5.5 5.9 10-3·K-1 G =几何系数(3) — 3.6 — mm τm =膜的热时间常数 — <5 — ms τdiffusion =气体交换的时间常数 — <100 — ms 漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} — 0.001 0.01 %/week 散射结构的体积 — 0.2 — mm3 保持干净的周围环境空间大小 — 100 — mm3 基础材料 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 尺寸结构: 包括底座 不包括底座 3mm × 3mm × 1mm 13mm Ø × 15.4mm 暴露在空气中的材料 Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数 (2) α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格. (3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的. 传感器的机械测试: 振动: 符合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟 冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
上海维逸测控技术有限公司
2021-08-23